镀膜方块电阻测试仪

一、结构特征

二、概述

2.1基本功能和依据标准：

ST2263型双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测-改进形范德堡测量方法测试材料电阻率/方块电阻的智能化综合测量仪器。

该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》等并参考美国 A.S.T.M 标准。

利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，

大大提高正确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。

2.2仪器成套组成：由ST2253四探针主机、选配的四探针探头、四探针测试台以及ST2253型四探针测试软件等部分组成。

2.3优势特征：

1：双电测模式，四探针测试模式中精度高等级。

2：带电脑软件，可以保存、查询、统计分析数据和打印报告。

3：USB通讯接口，通用性好、方便快捷。优于RS232或485方式，这些端口一般电脑都难配了！

4：8档位超宽量程。同行一般为五到六档位。

5:可脱电脑单机操作,小型化、手动/自动一体化。

6:操作简便、性能稳定，所有参数设定、功能转换全部采用数码开关输入，简便而且免除模拟定位器的不稳定。

2.4探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。详情见《四探针探头型号规格特征选型参照表》

1配高耐磨的碳化钨探针探头，以测试硅等半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；

2配不伤膜的球形或平头镀金铜合金探针探头，可测金属箔、碳纸等导电薄膜，也可测陶瓷、玻璃或PE膜等基底上导电涂层膜，如金属镀膜、喷涂膜、ITO膜、电容卷积膜等材料的薄膜涂层电阻率/方阻。

3配专用箔上涂层探头，也可测试锂电池电池极片等箔上涂层电阻率/方阻。

4换上四端子测试夹具，还可对电阻器的体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。

2.5测试台选配：根据不同材料特性需要，测试台可有多款选配。详情见《四探针测试台型号规格特征选型参照表》

四探针法测试固体或薄膜材料选配SZT-A型或SZT-B型（电动）或SZT-C型（快速恒压）或SZT-F型（太阳能电池片）测试台。

二探针法测试细长棒类材料选配SZT-K型测试台.

平行四刀法测试橡塑材料选配SZT-G型测试台。

2.6适用范围：仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校四探针法对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。

三、基本技术参数

3.1 测量范围

电 阻：1×10-4～2×105Ω   ，分辨率：1×10-5～1×102Ω

电阻率：1×10-4～2×105Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102Ω-cm

方 阻：5×10-4～1×106Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102Ω/□

3.2 材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)

直 径：SZT-B/C/F测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限.

长(高)度：测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限.

测量方位: 轴向、径向均可

3.3量程划分及误差等级

3.4四探针探头（选配其一或加配全部）

(1)碳化钨探针：Φ0.5mm，直线探针间距1.0mm，探针压力: 0～2kg 可调

(2)薄膜方阻探针：Φ0.7mm，直线或方形探针间距2.0mm，探针压力: 0～0.6kg 可调

3.5.电源

输入: AC 220V±10% ,50Hz  功              耗：<20W

3.6.外形尺寸、重量：

主 机： 220mm（长）×245 mm（宽）×100mm（高），     净   重：≤2.5kg

四、详情请登陆苏州晶格电子有限公司官方网站http://www.szjgdz.com.cn

查看《ST2263型数字式四探针测试仪技术使用说明书》

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