无油真空泵

　　一、典型应用

　　电子、半导体工业、包装、印刷、食品工业、塑料及橡胶工业、制药工业、医院负压体系及实验室设备。

　　二、产品特点

　　1、超低真空、超低静音

　　2、结构简略、修理简单

　　3、完全无油气、完全免保养

　　无油真空泵的作业压强应该满意真空设备的极限真空及作业压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。一般挑选泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

　　正确地挑选无油真空泵的作业点。每种泵都有必定的作业压强规模，如：分散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强规模内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的作业压强规模为5×10-4~5×10-6mmHg。因此，泵的作业点应该选在这个规模之内，而不能让它在10-8mmHg下长时间作业。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下作业，但其作业压强应小于1×10-5mmHg为好。